等温炉内衬

极端温度均匀性


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等温炉内衬

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等温炉衬(IFLs)是环形液态金属热管,提供了一个温度均匀的工作环境。来自博伊德公司的avid,热能部门的IFLs通过实现等温壁温,在最大限度提乐动体育网站1.0高生产率的同时节省了时间和能源。由于没有活动部件,IFL安装简单,提供了设计灵活性,非常可靠,性价比高。与探测器不同的是,IFL不依赖于连接周围墙壁或外部环境的传热路径。

在大多数应用中,avid IFLs使用单个加热器和控制器提供一个单一的均匀温度区。对于多个、单独控制的区域或温度曲线的阶梯变化,两个或多个IFLs可以串联使用。温度调整是一个简单的一步过程和频繁的轮廓测量没有必要。

等温炉衬里提供的卓越温度均匀性是在精确的过程中所需的,例如半导体晶体生长,热电偶和温度校准,气相沉积,黑色体散热器,集中的太阳能接收器等。IFL在化学加工和研究应用中非常适用于工艺管和实验室炉。IFL中的测量空间温度变化小于10MK,并且在许多情况下可能超过可用测量技术的灵敏度。

标准IFLs的操作温度为1600°C,可在一系列尺寸适合常规炉孔水平或垂直应用。定制的IFLs可用于亚环境和低温操作。IFL的尺寸和几何形状可以根据任何应用定制。

等温处理容器(IPV)是等温炉衬的延伸,自1971年以来一直供应给半导体晶体种植者和校准实验室。




等温炉衬解决方案

  • 高度可靠的温度调节,无活动部件
  • 平滑多个单独控制区域之间的温度曲线
  • 使用等温炉衬简化温度曲线的步骤变化
  • 提高系统效率和安全性与Solimide®泡沫绝缘和减少电力使用
  • 用我们的隔热罩保护周围的设备

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